事業案内
カセットポート
- 10世代までのガラス基板収納カセットの位置決めユニットを低価格にて御提供いたします。
- ガラス基板収納カセットをローラが内張りで位置決めを行うため、ユニットを最小ピッチで配置可能で
設備のﾗｲﾝ長短縮にお役に立てます。 - また位置決めユニットはスペースを極力削除し、小型化しました。
- 小型ながら、高性能な位置決めを実現しました。（10世代ﾀｲﾌﾟでの実績値）
位置決め精度 ±0.5mm
繰返し精度 ±0.1mm
最大積載 1000kg （センタリングユニット1個当り250kg） - ガラス基板収納カセットのサイズや仕様（ローラの材質、保護カバーの有無、架台の有無など）に応じて
カスタマイズしますので、一度ご相談下さい。
